XYZ AOI检测平台

产品简介/ PRODUCT INTRODUCTION

金瑞峰主营电磁循环线直线电机金瑞峰适用范围

【XYZ AOI检测平台的特点和优势】 ·采用 XYZ 叠加结构，无铁芯直线电机直驱控制，无齿槽效应，在低速下可平滑运行（速度波动小） ·同时配备非接触式高精度光栅尺，具备非常优秀的动态性能、定位精度和重复定位精度运动平稳，受力稳定 ·XY 轴叠层结构，采用大理石底座，高稳态，Z 轴直驱平升结构，直接移动负载升降，内置平衡气缸，行程 10mm

产品详情/ PRODUCT DETAILS

技术参数
轴系	X轴	Y轴	Z轴
电机型号	BZDU-30B-3	BZDU-30B-3（双动子）	-
持续推力	153 N	153 N	23 N
峰值推力	884 N	884 N	170 N
持续电流	2.54 Arms	2.54 Arms	-
峰值电流	8.84 Arms	8.84 Arms	-
有效行程	500 mm	400 mm	10 mm
负载	Z轴 +5.5 kg	Z轴 +X轴 +5.5 kg	5.5 kg
最大速度	600 mm/s	600 mm/s	100 mm/s
工作速度	200 mm/s	100 mm/s	100 mm/s
垂直直线度	±2 um	±2 um	±2 um
加速度	0.6 g	0.6 g	0.3 g
重复精度	±1 um	±1 um	±1 um
定位精度	±2 um	±2 um	±2 um
水平直线度	±2 um	±2 um	±2 um
PITCH	±5 arc sec	±5 arc sec	-
YAW	±5 arc sec	±5 arc sec	-
正交性	±5 arc sec
Z轴相应频率	3um@ 230nm@50Hz
安装方式	水平安装

产品特点 / PRODUCT FEATURES

XYZ AOI检测平台及其原理

集成电路板中的元器件数量越来越多，单个元器件体积越变越小，对检测的速度与效率要求也越来越高。AOI自动光学检测，即通过光学系统成像实现自动检测，核心技术点是获得准确且高质量的光学图像并加工处理。定制化AOI领域的解决方案应用广泛，除了PCB面板的检测，还可以在许多场景中应用，比如半导体，电池产品和电子元件的检测等。

XYZ AOI检测平台的特点和优势

·采用 XYZ 叠加结构，无铁芯直线电机直驱控制，无齿槽效应，在低速下可平滑运行（速度波动小）

·同时配备非接触式高精度光栅尺，具备非常优秀的动态性能、定位精度和重复定位精度运动平稳，受力稳定

·XY 轴叠层结构，采用大理石底座，高稳态，Z 轴直驱平升结构，直接移动负载升降，内置平衡气缸，行程 10mm

应用领域

一款高精度三轴高精密运动台，三轴叠层结构，可用于激光加工、光学制造及检测、等要求高精度和高效率的工业项目中

产品特性：

·三轴直驱结构设计

·Z 轴直驱平升结构

·Z 轴内置气动平衡配置，最大负载 10kg

·XY 采用高精密级直线导轨，Z 轴采用抗蠕动交叉滚柱导轨

·XY 采用大理石底座