XY轴气浮直线运动平台
产品简介/ PRODUCT INTRODUCTION
【气浮平台的特点和优势】
气浮平台具有极高的精度和稳定性
气浮平台具有出色的承载能力和运动性能
气浮平台的维护成本低，因为其摩擦系数很小，不会产生磨损和磨损
高直线度和平面度
由于其产品特性，气浮平台对使用环境有一定要求，需在洁净室内使用
需要使用清洁、干燥的气源供气
气浮平台及其原理
气浮平台是一种以气体为介质的悬浮系统，利用气体流动产生的气浮力来支撑和悬浮物体，实现无接触的悬浮效果。
其原理是在平面介面上注入压缩空气或氮气，通过气体流动和气泡形成产生气浮力支撑悬浮物体，形成一层气体悬浮层，实现物体的悬浮，从而达到高精度加工、光刻和检测等目的。
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技术参数 |
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轴系 |
X轴 |
Y轴 |
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行程 |
900 mm |
1350 mm |
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XX直线度 |
120 kg |
≥ 55KG+Z 轴重量 |
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YY直线度 |
0.1 um |
0.1 um |
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定位精度 |
5 arc sec |
5 arc sec |
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重复定位精度 |
10 arc sec |
10 arc sec |
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yaw |
±2.5 arc sec/50mm |
/ |
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pitch |
±5 arc sec/50mm |
/ |
气浮平台及其原理
气浮平台是一种以气体为介质的悬浮系统，利用气体流动产生的气浮力来支撑和悬浮物体，实现无接触的悬浮效果。
其原理是在平面介面上注入压缩空气或氮气，通过气体流动和气泡形成产生气浮力支撑悬浮物体，形成一层气体悬浮层，实现物体的悬浮，从而达到高精度加工、光刻和检测等目的。
气浮平台的特点和优势
气浮平台具有极高的精度和稳定性
气浮平台具有出色的承载能力和运动性能
气浮平台的维护成本低，因为其摩擦系数很小，不会产生磨损和磨损
高直线度和平面度
由于其产品特性，气浮平台对使用环境有一定要求，需在洁净室内使用
需要使用清洁、干燥的气源供气
应用领域
双轴超精密气浮运动台，采用有限元分析优化的结构和气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提供了最高动态性能。
广泛应用于半导体加工、检测，微纳加工、纳米级飞切抛光加工及高速扫描等行业。
产品特性：
•采用碳化硅陶瓷气浮导轨，超性能精度
•速度1m/s，加速度4g，快速的整定时间
•Y轴双驱双龙门结构，承载能力强
•可选光栅或激光干涉仪位置反馈
•可根据客户需求配置、行程、负载、特殊结构等进行评估定制
企业资质 / BUSINESS QUALIFICATION
金瑞峰优势/ ADVANTAGES OS JINRUIFENG
工厂与实力
工厂占地16000平方。200多台大型加工生产设备，华南地区多年最大智能装配工厂之一，欢迎各位老板莅临到工厂来参观指导。
性价比极高
金瑞峰 •每款产品都精心定制,专业技术研发团队。熟练掌握核心技术及制造工艺；可针对客户不同行业特性，定制更实用的直线电机系统
进口精密设备
进口精密设备，每款产品都精心定制,专业技术研发团队，激光干涉仪、测光仪其他各吨位直线电机、磨床，铣床等设备200多台
售后无忧
提供售前技术咨询，指导产品选型；从构思到设计，再到专人跟踪和团队支持服务质保3年，终身维护，可7*24小时满足广大用户，2个工作日内上门服务。
