| 技术参数 | |||
| 平台型号 | BZDDM-DLXY-400-400-100 | BZDDM-DLXY-600-600-100 | BZDDM-DLXY-800-800-100 |
| 有效行程 | 400*400*100 | 600*600*100 | 800*800*100 |
| 定位精度 | ±2 um | ±2 um | ±2 um |
| 双向重复定位精度 | ±1 um | ±1 um | ±1 um |
| 俯仰 | 15 arc sec | 20 arc sec | 25 arc sec |
| 偏摆 | 15 arc sec | 20 arc sec | 25 arc sec |
| 横滚 | 15 arc sec | 20 arc sec | 25 arc sec |
| 直线度 | ±3 um | ±5 um | ±8 um |
| 分辨率 | 100 nm | ||
| 最大加速度 | 1g | ||
| 最大速度 | 1 m/s | ||
| Y轴负载 | 60 KG | ||
| Z轴负载 | 12 KG | ||
| 持续推力 Y轴 | 221 N | ||
| 393 N | |||
| P峰值推力 Y轴 | 1248 N | ||
| 2830 N | |||
| 最小步进量 | 500 nm | ||
| 平台质量 | 1400 kg | 1500 kg | 1700 kg |
| 平台材质 | 大理石 | ||
| 平均无故障时间 | 20000 Hours | ||
| 注释：以上测试数据在实验室环境下，测试点位于中心点上方 25mm处，由线性放大器 &雷尼绍激光干涉仪得出 | |||
工厂占地16000平方。200多台大型加工生产设备，华南地区多年最大智能装配工厂之一，欢迎各位老板莅临到工厂来参观指导。
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