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X1/X2轴有效行程:1500mm Y1/Y2轴有效行程:2200mm X/Y轴最大移动速度:800mm/s 加速度:1.0G 重复定位精度:±1um 定位精度:±2um 直线度:±5um/m X/Y轴垂直度:10um 补偿后φ10mm插补圆的圆度为±0.01mm 200mm/s X轴负载:25KG Y轴负载:65KG
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