平面线轨式XY平台-Plane-XY

应用场景 测量、晶圆检测、表面粗糙度检测、激光切割等需要纳米级定位精度的工业领域和科研项目 产品特点 开放式结构 XY 一体式设计直驱平台 底轴双电机驱动 动态性能出色 更好的几何性能和更高的承载能力 兼顾大行程、高精度、重负载、低侧向高度 结构特点 低侧面高度 阿贝误差小 平台结构紧凑，有较强的驱动能力 下轴采用双电机驱动 上下轴空载最大速度均可达到 2000mm/s 空载加速度可达 2g 电子分辨率 1nm 最小步进小于 20nm

平台型号	JRFLM-Plane-XY-150	JRFLM-Plane-XY-250	JRFLM-Plane-XY-350
有效行程	150 mmx150 mm	250 mmx250 mm	350mmx35 0mm
定位精度	±0.3um	±0.3 um	±0.3 um
双向重复定位精度	±0.15 um	±0.15 um	±0.15um
俯仰	7 arc sec	9 are sec	11 are sec
偏摆	7 arc sec	9 are sec	11 are sec
直线度	±1.5 um	±2um	±2.5 um
分辨率	1nm
最大加速度	2g
最大速度	2000mm/s
最大水平负载	45 KG	45 KG	45 KG
持续推力	上 轴:153N下轴:306N
峰值推力	上 轴:864N 下轴:1728 N
最小步进量	20nm
平台质量	30 KG	40 KG	50 KG
平台材质	铝
平均无故障时间	27000 Hours

注释:以上测试数据在实验室环境下，测试点位于中心点上方25mm处，由线性放大器得出