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中空对位平台特点和优势 ··采用叠层紧凑的中空外形结构 ·工作点位置降低，光栅反馈位置接近工作表面，在晶圆检测中至关重要，Y 轴采用双驱直线电机驱动 ·可提供大推力、速度 1m/s
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