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晶圆切割平台-JRFDM-X400-Y600

应用场景适用于晶圆划片、晶圆检测等多种半导体行业产品特点精密直线导轨超高直线度开放式结构、低侧向高度更好的几何性能和更高的承载能力结构特点 XY一体式设计直驱平台水平直线度小于 ±lum 具备集中注油、金属接地等辅助功能...

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产品简介 / PRODUCT INTRODUCTION

产品详情 / PRODUCT DETAILS

平台型号	JRFDM-X400-Y600
轴向	X轴	Y 轴
有效行程	400mm	600 mm
重复定位精度	≤±1μm
补偿后定位精度	≤±1μm
水平直线度	≤±1μm (1.5μm/中间200行程内)	≤±1μm
垂直直线度	≤ ±1.5μm	≤±1.5μm
XY间垂直度	≤5μm
最高速度	1000mm/s	300mm/s
最大加速度	2G	0.5 G
负载	25kg
线长	拖链外3m
电机参数
冷却方式	自冷	水冷
持续推力	722.6 N	1159.3N
峰值推力	1610.5N
力常数±10%	153.0 N/Arms
反电势常数±10%	124.9 Vpeak/(m/s)
电机常数@25℃	58.2 N/Sqrt (W)
相间电阻 @25℃	4.6Q
相间电感±30%	116.0 mH
持续电流	4.8 Arms	8.2 Arms
峰值电流	14.4 Arms
持续热功率	204.9W	597.9 W
热耗散常数	2.8W/°℃	8.0 W/°℃

注释:以上测试数据在实验室环境下，测试点位于中心点上方25mm处，由线性放大器得出

产品特点 / Product FEATURES

应用场景

适用于晶圆划片、晶圆检测等多种半导体行业

产品特点

精密直线导轨

超高直线度

开放式结构、低侧向高度

更好的几何性能和更高的承载能力

结构特点

XY一体式设计直驱平台

水平直线度小于 ±lum

具备集中注油、金属接地等辅助功能

定制化

可以根据客户需求配置、行程、负载、

特殊结构等进行评估定制

尺寸外观

关于金瑞峰 / About Jinruifeng

客户案例 / Customer Case

我们具体能做什么 / WHAT CAN WE DO SPECIFICALLY

01 设计 Design

: 02 样品开发 Sample development

03 批量生产 mass production

: 04 成品组装 finished product assembly

工厂实力 / Factory strength

金瑞峰优势 / Advantages of Jinruifeng

: 实体工厂与规模

现代化生产基地工占地16000㎡，配备先进加工设备（200多台CNC数控机床、激光切割、数控冲床、精密设备等）经验丰富的工程师，确保从设计到生产的每个环节高效执行。

: 自主&研发

一站式解决客户全配套系统问题，从设计到交付再到日常生产，为您提供全方位支持。无论何时何地，您都能获得所需的帮助；服务众多上市公司以及国内知名企业。

: 严格质量控制

使用知名品牌之镭射仪器，检验定位精度与重复定位精度，在利用测试数据做几何精度补偿。正常检测的用:三坐标、激光干涉仪。质量追溯体系：每件产品附带唯一编号及检测报告，支持全生命周期质量追踪。

: 金牌服务&保障

服务与保障：24小时响应，2个工作日内上门服务，工厂配备多条生产线，可同时处理多个订单，缩短生产周期。高效物流：与专业物流公司合作。

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