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平面线轨式XY平台-Plane-XY

应用场景测量、晶圆检测、表面粗糙度检测、激光切割等需要纳米级定位精度的工业领域和科研项目产品特点开放式结构 XY 一体式设计直驱平台底轴双电机驱动动态性能出色更好的几何性能和更高的承载能力兼顾大行程、高精度、重负载、低侧向高度结构特点低侧面高度阿贝误差小平台结构紧凑，有较强的驱动能力下轴采用双电机驱动上下轴空载最大速度均可达到 2000mm/s 空载加速度可达 2g 电子分辨率 1nm 最小步进小于 20nm...

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产品简介 / PRODUCT INTRODUCTION

产品详情 / PRODUCT DETAILS

平台型号	JRFLM-Plane-XY-150	JRFLM-Plane-XY-250	JRFLM-Plane-XY-350
有效行程	150 mmx150 mm	250 mmx250 mm	350mmx35 0mm
定位精度	±0.3um	±0.3 um	±0.3 um
双向重复定位精度	±0.15 um	±0.15 um	±0.15um
俯仰	7 arc sec	9 are sec	11 are sec
偏摆	7 arc sec	9 are sec	11 are sec
直线度	±1.5 um	±2um	±2.5 um
分辨率	1nm
最大加速度	2g
最大速度	2000mm/s
最大水平负载	45 KG	45 KG	45 KG
持续推力	上轴:153N下轴:306N
峰值推力	上轴:864N 下轴:1728 N
最小步进量	20nm
平台质量	30 KG	40 KG	50 KG
平台材质	铝
平均无故障时间	27000 Hours

注释:以上测试数据在实验室环境下，测试点位于中心点上方25mm处，由线性放大器得出

产品特点 / Product FEATURES

应用场景

测量、晶圆检测、表面粗糙度检测、激光切割等需要纳米级定位精度的工业领域和科研项目

产品特点

开放式结构

XY 一体式设计直驱平台

底轴双电机驱动

动态性能出色

更好的几何性能和更高的承载能力

兼顾大行程、高精度、重负载、低侧向高度

结构特点

低侧面高度

阿贝误差小

平台结构紧凑，有较强的驱动能力

下轴采用双电机驱动

上下轴空载最大速度均可达到 2000mm/s

空载加速度可达 2g 电子分辨率 1nm

最小步进小于 20nm

定制化

更大行程可接受定制

外形尺寸

关于金瑞峰 / About Jinruifeng

客户案例 / Customer Case

我们具体能做什么 / WHAT CAN WE DO SPECIFICALLY

01 设计 Design

: 02 样品开发 Sample development

03 批量生产 mass production

: 04 成品组装 finished product assembly

工厂实力 / Factory strength

金瑞峰优势 / Advantages of Jinruifeng

: 实体工厂与规模

现代化生产基地工占地16000㎡，配备先进加工设备（200多台CNC数控机床、激光切割、数控冲床、精密设备等）经验丰富的工程师，确保从设计到生产的每个环节高效执行。

: 自主&研发

一站式解决客户全配套系统问题，从设计到交付再到日常生产，为您提供全方位支持。无论何时何地，您都能获得所需的帮助；服务众多上市公司以及国内知名企业。

: 严格质量控制

使用知名品牌之镭射仪器，检验定位精度与重复定位精度，在利用测试数据做几何精度补偿。正常检测的用:三坐标、激光干涉仪。质量追溯体系：每件产品附带唯一编号及检测报告，支持全生命周期质量追踪。

: 金牌服务&保障

服务与保障：24小时响应，2个工作日内上门服务，工厂配备多条生产线，可同时处理多个订单，缩短生产周期。高效物流：与专业物流公司合作。

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